物理系研究成果獲登Nature：利用剖面型掃描穿隧顯微能譜術參與合作

臺灣大學物理系教授邱雅萍研究團隊（碩士生楊子良、博士黃柏超）參與香港大學 （Prof. Lain-Jong Li）、澳洲New South Wales大學（Prof. Sean Li）等團隊的研究工作（High-κ perovskite membranes as insulators for two-dimensional transistors），此研究成果已正式發表在2022年5月的Nature期刊。

研究的突破性和新穎性，是研究團隊使用可轉移的高介電鈣鈦礦薄膜（SrTiO₃），成功使二硫化鉬（MoS₂）二維材料電晶體的電容等效厚度（Capacitance Equivalent Thickness, CET）達到次奈米尺度，並且達成短通道MoS₂ 場效電晶體的SS因子（Subthreshold-swing）紀錄最低值（79mV/dec）。鈣鈦礦有多元的材料選擇性及成熟的製作技術，其可轉移的特性，在此研究中成功提升短通道二維材料電晶體的表現，也為未來元件三維整合提供一條新的路徑。

邱雅萍教授研究團隊利用剖面掃描穿隧顯微術（cross-sectional STM），檢測該元件介面處的高解析（sub-1nm）電子結構資訊。藉由分析鈣鈦礦薄膜（SrTiO₃）_­­­與二維材料（MoS₂）及其與電極之間的特徵態密度（density of states），提供該元件介面處的高解析（sub-1nm）電子結構資訊，展示可轉移的鈣鈦礦薄膜（SrTiO₃）_­­­介面電性的二維特質。

這是國際上首次利用剖面型掃描穿隧顯微術檢測二維材料電晶體，提供原子級介面處電子結構的直接證據。未來將繼續利用這項關鍵檢測技術，探討低維度半導體電晶體關鍵介面科學相關課題。

本研究成果已於2022年5月11日發表於Nature：https://www.nature.com/articles/s41586-022-04588-2。