帶動臺大竹北校區持續發展與願景

長久以來，臺灣的半導體產業享譽國際，在世界的半導體市場中佔有一席之地。不過在這樣風光的成就背後，臺灣的電子工業實際上是經歷了漫長的轉型，從勞力密集的裝配加工出、發展大規模的積體電路製造，到今天的許多高科技研發創新，過程中招來各領域的一時之選，集眾人之力，使這朵植栽於臺灣的科技之花，在國際中散放馥郁的芬芳。在這過程中，臺大土木工程學系教授張陸滿博士，不僅是現今高科技廠房設施研究的重要推手，更是臺灣半導體發展過程中，高科技廠房興建的早期領航員之一。

在 1970 年初，臺灣計劃由勞力密集產業轉型到資金及技術密集產業，因此，在經濟部工研院成立了推動臺灣半導體發展的電子研究中心。張教授於 1974 年進入工研院，負責中興院區整地及公共設施興建，並於 1975 年加入「積體電路示範工廠」的興建團隊。憑藉著熱情和捨我其誰的信念，協助設計及監造了臺灣第一座積體電路工廠，亦是今日工研院之第 15 館，此館目前仍持續運轉中。張教授表示，當時，興建團隊目標明確，每一位成員都深知臺灣「要靠這個廠翻身」。張教授也慶幸當年有機會以一個土木工程師的身分，在炎陽日照、竹風刺骨之下，與電子研究中心的同仁，分工協力完成建廠計畫。

當年，為了將半導體的製造技術移轉到臺灣，工研院甚至派員遠赴美國 RCA 公司學習積體電路技術，但縱使具備了發展技術的軟實力，尚需有充分的硬體廠房及設備來配合實作才行。早期的無塵室對於環境控制的重點，主要放在空氣中之塵埃汙染，這種對於生產環境嚴格要求的概念，是在打造第一座積體電路工廠時才出現的。隨著半導體科技的進步，現今對於高科技廠房的要求已越趨嚴格。環境控制則有拓展到更寬廣的範疇，包含溫濕度、空氣與水的品質、化學物質與氣體的純度、噪音與微振程度、電磁波與電頻干擾、靜電消除、去氣物質 (out-gassing) 、安全接地、人員健康、安全之確保與生物病毒危害之防治等。臺灣的第一座積體電路示範工廠於1976年7月份動土，而張陸滿教授即是第一位被派往 RCA 公司，吸取技術經驗的建廠工程師。

1977 年示範工廠即將落成之際，張教授自認在高科技廠房營建管理方面之知識不足，毅然前往美國進修。1983 年於德州大學土木系取得營建工程與專案管理博士學位後，先後至佛羅里達大學與普渡大學任教。普渡大學自2000 年起，集中資源投入奈米及生物醫學科技之研發，建造先進的奈米研究中心，張教授時而在研究中心規劃上給予一些建議，也運用興建中的設施，在普渡大學開設高科技營建及無塵室設計之課程。2006年，他回到臺大土木系，持續從事高科技廠房設施之的教學研究。

2006 年返臺後，張教授有感於土木工程尚未與臺灣如火如荼的高科技產業接軌，積極推動土木工程與高科技產業的結合。張教授指出，土木工程在高科技廠房設施領域扮演著相當重要的角色，因為所有的生產設備及公共共用設施，都要架設在土木的基礎結構上--安全基礎結構材料之選用；純水、廢水、氣體、化學物之處理；環境生態的保護；高科技廠房中，幾千部晶圓矽片及光電元件載貨櫃的交通管制需求；一座造價 1~3 仟億台幣的高科技廠房，從破土到製造機台搬進，須於 10 個月內完工之營建管理考量等，在在都與土木工程有關。雖然其他領域，如電機、化工、機械，在廠房設施中各司其職，但都不能各行其是，勢必要加以整合，才得有所成。以此觀之，土木工程正可居於這種主導整合的地位。

而下個世代的高科技廠房設施之研發建造，更會是跨領域的結合，包括土木、建築、機械、化工、電機、物理、化學、生物、材料、醫學、生態，甚至於法律、管理、經濟、人文藝術等等的人才投入。在張教授及臺大土木系諸多教授的支持之下，成立了「高科技廠房設施研究中心」，廣邀臺大校內外各領域的優秀人才，共同提昇高科技廠房設施的研發創新，同時培養臺灣高科技廠房設施的研發建造人才。

張教授一直致力於高科技廠房設施的研發教學。除了在校總區，他更在臺大新竹竹北校區碧禎館落成啟用後，率先從台北校本部遷移進駐!就近與新竹科學園區的高科技廠家產學合作，促使臺灣半導體製造技術更上一層樓，並強化基礎，使半導體廠房技術持續具有領先優勢。期望能以關鍵廠房設施技術突破領頭，帶領臺灣廠房設施研發能力的提升。

竹北校區，目前己設立 4 間實驗室，擁有十多位研究員組成的團隊。迄今，孜孜矻矻，屹立不搖，重點研究內容包含「空氣分子汙染」、「微震動的干擾防制」、「混合式電磁消除控制系統」、「綠廠房」、「智慧監測」及「廠房資訊模擬」。

進駐竹北校區以來，張教授雖偶爾自嘲在竹北「蘇武牧羊」，但是，他仍用立足臺灣、放眼天下的胸懷，透過教學、研究，為提升與推廣高科技廠房營建的相關技術效力，將土木專業發揮於其中，使土木工程與高科技產業結合，更讓臺灣在此一領域有長足的發展與持續燦爛的前景。